5月24日上午，在第七屆智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上，安徽華鑫微納集成電路有限公司發(fā)布：8英寸晶圓生產(chǎn)線首批產(chǎn)品成功串線。這標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線在蚌埠正式投產(chǎn)。
華鑫微納8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線是一條集硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成、2.5D/3D微系統(tǒng)集成于一體的靈活度高、兼容性強、體系完善研產(chǎn)高度協(xié)同的晶圓代工平臺。其產(chǎn)品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS執(zhí)行器、環(huán)境傳感器、噴墨打印頭等。產(chǎn)線規(guī)劃3萬片/月的8英寸MEMS晶圓制造能力。
據(jù)了解，華鑫微納定位為國內(nèi)領先的8英寸MEMS晶圓代工企業(yè)以及國內(nèi)領先的“開放式、定制化MEMS代工平臺基地”。這意味著，智能傳感器的核心部件——MEMS芯片，將在蚌埠生產(chǎn)并向全球的智能傳感器企業(yè)供貨，為整個產(chǎn)業(yè)鏈安全提供有力支撐。
“目前企業(yè)累計與50家客戶達成合作意向，意向訂單總計約21萬片，另有3萬余片晶圓合同正在洽談中，將有效支撐2025年1萬片達產(chǎn)?！卑不杖A鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理丁敬秀介紹。
中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟常務副理事長郭源生表示，8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線對傳感器產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展起到了積極的支撐作用，它將引領帶動國內(nèi)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群向高端化發(fā)展，重塑傳感器產(chǎn)業(yè)鏈的構架和產(chǎn)業(yè)的格局。（尤靖文 劉彧）